1真空環境大大降低了需要驅逐的液體的沸點，所以真空幹燥可以輕鬆應用於熱敏性物質

2對於不容易幹燥的樣品，例如粉末或其他顆粒狀樣品，使用真空幹燥下可以有效縮短幹燥時間

3各種構造複雜的機械部件或其他多孔樣品經過清洗後使用真空幹燥法，完全幹燥後不留任何參與物質

4使用更安全，在真空或惰性條件下，完全消除氧化物預熱爆炸的可能

5與依靠空氣循環的普通幹燥相比，粉末狀樣品不會被流動空氣吹動或移動